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MEMS裸片

BCPC1000

产品简介： BCPC1000 是一款小尺寸不带温度补偿的硅压力传感器芯片。该传感器芯片采用经过优化的硅微结构晶圆以及先进的MEMS加工技术，是为大批量使用的客户而设计。

关键特性
压阻式MEMS硅-硅工艺
小尺寸1*1毫米
可靠性高
低功耗
高灵敏度
压力范围：100KPa、1MPa、3MPa
外形尺寸（单位：mm）

典型温度响应曲线

备注：
1. 测试电压 Vdd+=5Vdc;
2. 环境温度 Ta=25℃；
3. 最佳直线拟合。

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